|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
459812 |
| 005 |
20231101085201.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\123609
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\123608
|
| 090 |
|
|
|a 459812
|
| 100 |
|
|
|a 20111025d2011 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drnn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа
|b Электронный ресурс
|f А. П. Семёнов, И. А. Семёнова
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (2.9 М)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 2.9 М)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\122269
|t Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
|o тематический выпуск
|f под ред. А. П. Суржикова
|d 2011
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a газоразрядная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a пары
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 700 |
|
1 |
|a Семёнов
|b А. П.
|
| 701 |
|
1 |
|a Семёнова
|b И. А.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111018
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20121213
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Conferences/2011/K03/342.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
