Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4

Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4

Bibliographic Details
Parent link:	Химия высоких энергий/ Российская академия наук (РАН), Отделение химии и наук о материалах РАН.— , 1968- Т. 21, № 5.— 1987.— С. 464-468
Main Author:	Королев Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Other Authors:	Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, Ярош А. М.
Language:	Russian
Published:	1987
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=453147

Similar Items

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Плазмохимическая установка с объёмным самостоятельным разрядом для конверсии газообразных углеводородов
by: Поддоскин В. В.
Published: (2005)

Электрофизические характеристики линейных полимерных диэлектриков с неоднородностями, созданными облучением заряженными частицами диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Малышков Ю. П. Юрий Петрович
Published: (Томск, [Б. и.], 1974)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Магнитооптика тонких пленок
by: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Published: (Москва, Наука, 1988)

Совершенствование технологии обработки воды импульсным электрическим разрядом
Published: (2010)

Моделирование разрушения твердого диэлектрика импульсным электрическим разрядом
Published: (2008)

Формирование тонких пленок учебное пособие
by: Кирсанова Т. С. Татьяна Сергеевна
Published: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Обработка водных растворов щавелевой кислоты импульсным коронным разрядом
by: Сапрыкин Ф. Е. Филипп Евгеньевич
Published: (2018)

Пробой тонких диэлектрических пленок
by: Воробьев Г. А. Григорий Абрамович
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Технология тонких пленок: практикум
by: Никулин Д. М.
Published: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)

Модификация приповерхностных слоев медной фольги при воздействии объемным наносекундным разрядом в воздухе атмосферного давления
Published: (2007)

Технология тонких пленок справочник пер. с англ.
Published: (Москва, Советское радио, 1977)

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
by: Антоненко С. В.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Травление металлов [учебное пособие]
by: Ямпольский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Москва, Металлургия, 1980)

Накопление азотных соединений при обработке воды импульсным коронным разрядом
by: Маринин С. А. Сергей Александрович
Published: (2014)

Окисление железа (II) в сернокислых растворах импульсным электрическим разрядом
Published: (2012)

Подсчет запасов нефти объемным методом
by: Борисенко З. Г. Зинаида Григорьевна
Published: (Москва, Недра, 1973)

Химическое травление титана
by: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Published: (2009)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио, 1979)

Химическое травление титана
by: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Published: (2009)

Травление полупроводников пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1965)

Электронно-зондовый микроанализ тонких пленок
by: Васичев Б. Н. Борис Никитович
Published: (Москва, Металлургия, 1977)

Исследование и применение тонких пленок
by: Борисов А. Н. Андрей Н.
Published: (Германия, LAP Lambert Academic Publishing, 2015)

Коагуляция и динамика тонких пленок
by: Духин С. С. Станислав Самуилович
Published: (Киев, Наукова думка, 1986)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
by: Твердохлеб П. Е.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2019)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок Учебное пособие
by: Твердохлеб П.В. Петр Васильевич
Published: (Новосибирск, Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2019)

Плазмохимическое окисление изотопов титана в магнитном поле
Published: (2014)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Вакуумная установка для напыления тонких пленок
by: Херуменко А. А.
Published: (1968)

Формирование тонких пленок в силикофосфатной системе
by: Петровская Т. С. Татьяна Семёновна
Published: (2010)

Химические методы получения тонких прозрачных пленок
by: Суйковская Н. В. Нина Владимировна
Published: (Ленинград, Химия, 1971)

Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок
by: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
Published: (Москва, Наука, 1986)

Особенности РОР-спектроскопии тонких пленок перовскитов
Published: (2012)

Получение и свойства тонких пленок сборник научных трудов
Published: (Киев, Наукова думка, 1982)

Технология толстых и тонких пленок пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
by: Ершов А. В.
Published: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Электронная спектроскопия поверхности и тонких пленок учебное пособие
by: Еловиков С. С. Сергей Сергеевич
Published: (Москва, Изд-во МГУ, 1992)