Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4
| Parent link: | Химия высоких энергий/ Российская академия наук (РАН), Отделение химии и наук о материалах РАН.— , 1968- Т. 21, № 5.— 1987.— С. 464-468 |
|---|---|
| Автор: | |
| Інші автори: | , |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
1987
|
| Предмети: | |
| Формат: | Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=453147 |