Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4

Bibliographic Details
Parent link:	Химия высоких энергий/ Российская академия наук (РАН), Отделение химии и наук о материалах РАН.— , 1968- Т. 21, № 5.— 1987.— С. 464-468
Main Author:	Королев Ю. Д. Юрий Дмитриевич
Other Authors:	Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, Ярош А. М.
Language:	Russian
Published:	1987
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=453147

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	453147
005	20231101083910.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\115652
090			\|a 453147
100			\|a 20110705a1987 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4 \|f Ю. Д. Королев, Г. А. Месяц, А. М. Ярош
320			\|a Библиогр.: с. 468 (8 назв.)
461		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\422 \|t Химия высоких энергий \|f Российская академия наук (РАН), Отделение химии и наук о материалах РАН \|d 1968-
463		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\90222 \|t Т. 21, № 5 \|v С. 464-468 \|d 1987
610	1		\|a труды учёных ТПУ
700		1	\|a Королев \|b Ю. Д. \|c физик \|c профессор Томского политехнического университета \|g Юрий Дмитриевич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26833
701		1	\|a Месяц \|b Г. А. \|c российский физик \|c академик, вице-президент РАН \|c выпускник Томского политехнического института \|f 1936- \|g Геннадий Андреевич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\17099 \|4 070
701		1	\|a Ярош \|b А. М.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20110705
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20131018 \|g RCR
942			\|c BK