Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4
| Parent link: | Химия высоких энергий/ Российская академия наук (РАН), Отделение химии и наук о материалах РАН.— , 1968- Т. 21, № 5.— 1987.— С. 464-468 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Language: | Russian |
| Published: |
1987
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=453147 |
| Description not available. |