APA (7th ed.) Citation

Королев Ю. Д. Юрий Дмитриевич, Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, & Ярош А. М. (1987). Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4. 1987.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Королев Ю. Д. Юрий Дмитриевич, Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, and Ярош А. М. Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4. 1987, 1987.

MLA (9th ed.) Citation

Королев Ю. Д. Юрий Дмитриевич, et al. Плазмохимическое травление тонких пленок активными частицами, созданными импульсным объемным разрядом в CF4. 1987, 1987.