Об использовании сильноточных электронных пучков для отжига полупроводников; Журнал технической физики; Т. 51, вып. 6

Bibliographic Details
Parent link:	Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931- Т. 51, вып. 6.— 1981.— С. 1303-1305
Other Authors:	Лидоренко Н. С., Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, Рябиков С. В., Бондаренко В. Д., Зайцева А. К., Лебедева Н. И., Полисан А. А., Шпак В. Г.
Language:	Russian
Published:	1981
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=452834

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	452834
005	20231101083830.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\115339
090			\|a 452834
100			\|a 20110630a1981 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Об использовании сильноточных электронных пучков для отжига полупроводников \|f Н. С. Лидоренко [и др.]
320			\|a Библиогр.: с. 1305 (7 назв.)
461		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\452 \|t Журнал технической физики \|f Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) \|d 1931-
463		0	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\99589 \|t Т. 51, вып. 6 \|v С. 1303-1305 \|d 1981
610	1		\|a труды учёных ТПУ
701		1	\|a Лидоренко \|b Н. С.
701		1	\|a Месяц \|b Г. А. \|c российский физик \|c академик, вице-президент РАН \|c выпускник Томского политехнического института \|f 1936- \|g Геннадий Андреевич \|2 stltpush \|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\17099 \|4 070
701		1	\|a Рябиков \|b С. В.
701		1	\|a Бондаренко \|b В. Д.
701		1	\|a Зайцева \|b А. К.
701		1	\|a Лебедева \|b Н. И.
701		1	\|a Полисан \|b А. А.
701		1	\|a Шпак \|b В. Г.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20110630
942			\|c BK