Об использовании сильноточных электронных пучков для отжига полупроводников

Bibliographic Details
Parent link:	Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ).— , 1931- Т. 51, вып. 6.— 1981.— С. 1303-1305
Other Authors:	Лидоренко Н. С., Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, Рябиков С. В., Бондаренко В. Д., Зайцева А. К., Лебедева Н. И., Полисан А. А., Шпак В. Г.
Published:	1981
Subjects:	труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=452834

Similar Items