Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности; Письма в Журнал технической физики; Т. 8, вып. 17-24
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН.— , 1975- Т. 8, вып. 17-24.— 1982.— С. 1465-1468 |
|---|---|
| Інші автори: | , , , , |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
1982
|
| Предмети: | |
| Формат: | Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=451253 |