Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности

Bibliographic Details
Parent link:Письма в Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН.— , 1975-
Т. 8, вып. 17-24.— 1982.— С. 1465-1468
Other Authors: Крейндель Ю. Е. Юлий Ефимович, Лебедева Н. И., Мартенс В. Я., Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, Проскуровский Д. И.
Published: 1982
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=451253