Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН.— , 1975- Т. 8, вып. 17-24.— 1982.— С. 1465-1468 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Published: |
1982
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=451253 |