Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности

Detalles Bibliográficos
Parent link:Письма в Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН.— , 1975-
Т. 8, вып. 17-24.— 1982.— С. 1465-1468
Outros autores: Крейндель Ю. Е. Юлий Ефимович, Лебедева Н. И., Мартенс В. Я., Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, Проскуровский Д. И.
Idioma:ruso
Publicado: 1982
Subjects:
Formato: Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=451253

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 451253
005 20231101083512.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\prd\113700 
090 |a 451253 
100 |a 20110620a1982 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности  |f Ю. Е. Крейндель [и др.] 
320 |a Библиогр.: с. 1468 (7 назв.) 
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\486  |t Письма в Журнал технической физики  |f Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН  |d 1975- 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\prd\102002  |t Т. 8, вып. 17-24  |v С. 1465-1468  |d 1982 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
701 1 |a Крейндель  |b Ю. Е.  |c российский физик  |c профессор ТУСУРа  |f ?-1991  |g Юлий Ефимович  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\7864  |4 070 
701 1 |a Лебедева  |b Н. И. 
701 1 |a Мартенс  |b В. Я. 
701 1 |a Месяц  |b Г. А.  |c российский физик  |c академик, вице-президент РАН  |c выпускник Томского политехнического института  |f 1936-  |g Геннадий Андреевич  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\17099  |4 070 
701 1 |a Проскуровский  |b Д. И. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20110620 
942 |c BK