Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности
| Parent link: | Письма в Журнал технической физики/ Российская академия наук (РАН), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (ФТИ) ; Отделение общей физики и астрономии РАН.— , 1975- Т. 8, вып. 17-24.— 1982.— С. 1465-1468 |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | , , , , |
| Język: | rosyjski |
| Wydane: |
1982
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Format: | Rozdział |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=451253 |
| Nie ma specyfikacji. |