APA (7th ed.) Citation

Крейндель Ю. Е. Юлий Ефимович, Лебедева Н. И., Мартенс В. Я., Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, & Проскуровский Д. И. (1982). Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности. 1982.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Крейндель Ю. Е. Юлий Ефимович, Лебедева Н. И., Мартенс В. Я., Месяц Г. А. Геннадий Андреевич, and Проскуровский Д. И. Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности. 1982, 1982.

MLA (9th ed.) Citation

Крейндель Ю. Е. Юлий Ефимович, et al. Отжиг полупроводников низкоэнергетичным электронным пучком большого сечения секундной длительности. 1982, 1982.