|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427425 |
| 005 |
20231101074638.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86604
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\38852
|
| 090 |
|
|
|a 427425
|
| 100 |
|
|
|a 20100909a2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Система управления установкой для напыления покрытий в плазме газового разряда
|f Л. Б. Беграмбеков, А. М. Калачев
|
| 225 |
1 |
|
|a Приборы, изготовленные в лабораториях
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 4 назв.
|
| 461 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86578
|t № 6
|v с. 142-143
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a установки
|
| 610 |
1 |
|
|a системы управления
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a блок-схемы
|
| 675 |
|
|
|a 621.793
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Беграмбеков
|b Л. Б.
|
| 701 |
|
1 |
|a Калачев
|b А. М.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20051011
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100909
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
