Система управления установкой для напыления покрытий в плазме газового разряда
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2004.— с. 142-143 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2004
|
| Series: | Приборы, изготовленные в лабораториях |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427425 |