Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме

Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме

Bibliographic Details
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2004.— с. 125-129
Other Authors:	Варнаков С. Н., Лепешев А. А., Овчинников С. Г., Паршин А. С., Коршунов М. М., Nevoral P.
Language:	Russian
Published:	2004
Series:	Лабораторная техника
Subjects:	сверхвысокий вакуум технологическое оборудование автоматизация многослойные структуры тонкие пленки полупроводниковые материалы магнитные материалы программно-аппаратные блоки
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427419

Similar Items

Исследование твёрдости многослойных плёночных структур титан-гидрогенизированный аморфный углерод микро- и наноиндентированием
Published: (2004)

Сверхвысокий вакуум пер. с нем.
by: Тренделенбург Э. А. Эрнст Адольф
Published: (Москва, Мир, 1966)

Synthesis of multilayer polycrystalline diamond films using bias-induced secondary nucleation
by: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Published: (2015)

Физика и техника сверхвысокого вакуума сборник статей
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1968)

Технология конструкционных материалов . Анализ поверхности методами атомной физики учебное пособие для бакалавриата и магистратуры
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Москва, Юрайт, 2016)

Технология конструкционных материалов. Анализ поверхности методами атомной физики учебное пособие для бакалавриата и магистратуры
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Москва, Юрайт, 2019)

Сверхвысоковакуумные электрические печи сопротивления
by: Макарычев И. И. Игорь Иванович
Published: (Москва, Энергия, 1975)

Справочник по вакуумной технике и технологиям пер. с англ.
Published: (Москва, Техносфера, 2011)

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
by: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Технология производства многослойных полимерных пленок
by: Михайленко М. Ю.
Published: (2011)

Научные основы вакуумной техники пер. с англ.
by: Дэшман С.
Published: (Москва, Мир, 1964)

Thin Films and Multilayers for Electronics study aid
Published: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Изготовления мастер-штампов для микроконтактной печати двухмерных (2D) структур из полиэлектролитов для медицинских целей
Published: (2022)

Механизм образования и субструктура конденсированных пленок
by: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Published: (Москва, Наука, 1972)

Методы получения тонкоплёночных покрытий в вакууме
by: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Published: (2007)

Study of thin metallic film explosion in vacuum
Published: (2017)

Введение в физику поверхности
Published: (Москва, Наука, 2006)

Разработка технологии получения многослойных металлокерамических материалов
by: Русяев А. Н.
Published: (2017)

Antibacterial AgNPs/CaP biocomposites
Published: (2014)

Оптические покрытия
by: Путилин Э. С.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Т. 1
Published: (1977)

Справочник по вакуумной технике и технологии пер. с англ.
by: Розбери Ф. Фред
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Программно-аппаратный комплекс для виброконтроля и диагностики состояния технологического оборудования
by: Кассиров А. В.
Published: (2000)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
by: Васильев В. Ю.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Технология тонких пленок: практикум
by: Никулин Д. М.
Published: (Новосибирск, СГУГиТ, 2023)

Исследование основных свойств фото- и терморегистрирующих сред на основе галогенидов тяжелых металлов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук спец. 02.00.04
by: Шустов М. А. Михаил Анатольевич
Published: (Кемерово, 1985)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Технология толстых и тонких пленок пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1972)

Нанесение покрытий в вакууме
Published: (Рига, Зинатне, 1986)

Получение, физико-химические свойства и применение силикатных тонкопленочных систем SiO2-Ta2O5 диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Мальчик А. Г. Александра Геннадьевна
Published: (Томск, 1997)

Многослойные и комбинированные пленочные материалы
by: Каган Д. Ф. Дмитрий Филиппович
Published: (Москва, Химия, 1989)

Сварка разнородных, композиционных и многослойных материалов сборник научных трудов
Published: (Киев, 1990)

Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики учебное пособие
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2012)

Основы анализа поверхности твердых тел методами атомной физики учебное пособие
by: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Фотоэмиссионные свойства тонких пленок антимонидовов щелочных металлов, сконденсированных в условиях сверхвысокого вакуума (СВВ) диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Нестеров И. А. Игорь Анатольевич
Published: (Новосибирск, 2009)

Нанотехнологии материалов и покрытий учебное пособие
by: Иванов Н. Б.
Published: (Казань, КНИТУ, 2019)

Hybrid biocomposite with a tunable antibacterial activity and bioactivity based on RF magnetron sputter deposited coating and silver nanoparticles
Published: (2015)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3 диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11 02.00.04
by: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Применение метода эталонного слоя для определения теплофизических характеристик материалов многослойных структур
Published: (2006)

Программно-аппаратный комплекс для бесконтактного контроля микроперемещений элементов машин и измерения электрических, тепловых и прочностных характеристик электропроводящих материалов, керамик, наноматериалов и тонкоплёночных структур
by: Качин О. С. Олег Сергеевич
Published: (2008)