Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме

Bibliographic Details
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 6.— 2004.— с. 125-129
Other Authors:	Варнаков С. Н., Лепешев А. А., Овчинников С. Г., Паршин А. С., Коршунов М. М., Nevoral P.
Language:	Russian
Published:	2004
Series:	Лабораторная техника
Subjects:	сверхвысокий вакуум технологическое оборудование автоматизация многослойные структуры тонкие пленки полупроводниковые материалы магнитные материалы программно-аппаратные блоки
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427419

Similar Items