|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427419 |
| 005 |
20231101074638.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86598
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\38786
|
| 090 |
|
|
|a 427419
|
| 100 |
|
|
|a 20100909a2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме
|f С. Н. Варнаков, А. А. Лепешев, С. Г. Овчинников и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Лабораторная техника
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 8назв.
|
| 461 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86578
|t № 6
|v с. 125-129
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a сверхвысокий вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a технологическое оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизация
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитные материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a программно-аппаратные блоки
|
| 675 |
|
|
|a 537.533.8.07
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Варнаков
|b С. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Лепешев
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Овчинников
|b С. Г.
|
| 701 |
|
1 |
|a Паршин
|b А. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Коршунов
|b М. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Nevoral
|b P.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20051010
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100909
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
