APA (7th ed.) Citation

Варнаков С. Н., Лепешев А. А., Овчинников С. Г., Паршин А. С., Коршунов М. М., & Nevoral P. (2004). Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме. 2004.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Варнаков С. Н., Лепешев А. А., Овчинников С. Г., Паршин А. С., Коршунов М. М., and Nevoral P. Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме. 2004, 2004.

MLA (9th ed.) Citation

Варнаков С. Н., et al. Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме. 2004, 2004.