APA (7th ed.) Citation

Варнаков С. Н., Лепешев А. А., Овчинников С. Г., Паршин А. С., Коршунов М. М., & Nevoral P. (2004). Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме; Приборы и техника эксперимента; № 6. 2004.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Варнаков С. Н., Лепешев А. А., Овчинников С. Г., Паршин А. С., Коршунов М. М., and Nevoral P. Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме; Приборы и техника эксперимента; № 6. 2004, 2004.

MLA (9th ed.) Citation

Варнаков С. Н., et al. Автоматизация технологического оборудования для получения многослойных структур в сверхвысоком вакууме; Приборы и техника эксперимента; № 6. 2004, 2004.