Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti

Podrobná bibliografie
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 3.— 2002.— с. 123-126
Hlavní autor:	Перекрестов В. И.
Další autoři:	Кравченко С. Н.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2002
Edice:	Лабораторная техника
Témata:	остаточные газы вакуумные камеры химически чистые плёнки магнетронное распыление
Médium:	Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427067

Podobné jednotky

Анализ состава остаточных газов в вакуумной камере импульсного ускорителя
Autor: Флусова Д. С.
Vydáno: (2021)

Исследование свойств дуги в вакуумной дугогасительной камере при малых расстояниях между контактами
Autor: Лавринович В. А. Валерий Александрович
Vydáno: (2010)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
Autor: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Vydáno: (2010)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
Autor: Шпакова Н. Ю.
Vydáno: (2009)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films
Autor: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Vydáno: (2014)

Моделирование показаний датчиков электромагнитной индукции и магнитного потока в вакуумной камере токамака КТМ
Autor: Зольнов Д. А.
Vydáno: (2019)

Временное разрешение вакуумной камеры деления
Autor: Чукляев С. В.
Vydáno: (2003)

Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"
Autor: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Vydáno: (2002)

Исследование явлений вблизи нуля тока вакуумной дуги
Autor: Хоанг Туан Ань
Vydáno: (2010)

Исследование прямого электрического нагрева при упаривании растворов химически чистых сульфатов меди и никеля автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.08
Autor: Пьянков А. Г. Анатолий Григорьевич
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 1980)

Влияние давления в вакуумной камере на интенсивность излучения ускорителей [отдельный оттиск]
Autor: Власов А. Г.
Vydáno: (Москва, Изд-во Академии наук СССР, 1961)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
Autor: Андреева М. А.
Vydáno: (2016)

Теория процессов получения чистых металлов, сплавов и интерметаллидов учебное пособие
Autor: Емельянов В. С. Василий Семенович
Vydáno: (Москва, Энергоатомиздат, 1983)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Vydáno: (2016)

Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi
Autor: Luchin A. V.
Vydáno: (2019)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
Autor: Цао Янь
Vydáno: (2007)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления
Autor: Просолов К. А. Константин Александрович
Vydáno: (2017)

Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов учебное пособие
Autor: Беляев А. И. Анатолий Иванович
Vydáno: (Москва, Изд-во МИСиП, 1965)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы [монография]
Autor: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Vydáno: (Москва, Техномаш, 2008)

Моделирование тепломассопереноса древесины при нагреве в камере с пониженным давлением
Autor: Горешнев М. А. Максим Алексеевич
Vydáno: (2010)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering
Autor: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Vydáno: (2018)

Алгоритмическое обеспечение подсистемы управления прогревом вакуумной камеры токамака КТМ
Autor: Коровиков А. Г.
Vydáno: (2011)

Справочник по вакуумной технике и технологиям пер. с англ.
Vydáno: (Москва, Техносфера, 2011)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
Autor: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Vydáno: (2009)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Vydáno: (2013)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
Vydáno: (2013)

Диод Шоттки на основе GaAs: технология получения и диагностика электронное учебно-методическое пособие
Autor: Дорохин М. В.
Vydáno: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2013)

Targets of deuterides TiD2, ZrD2, NbD, and CrD2 with different structures used in experiments on the study of pd and dd reactions at astrophysical energies
Vydáno: (2016)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита
Autor: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Vydáno: (2009)

Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины
Autor: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Vydáno: (2007)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering
Vydáno: (2016)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
Autor: Гаранин Ю. А.
Vydáno: (2022)

Программное обеспечение для системы управления процессом прогрева вакуумной камеры термоядерной установки токамак КТМ
Autor: Лю М. И.
Vydáno: (2007)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
Autor: Шаронова А. А. Анна Александровна
Vydáno: (2013)

Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов учебное пособие
Autor: Беляев А. И. Анатолий Иванович
Vydáno: (Москва, Металлургия, 1973)

Моделирование процесса магнетронного осаждения хрома при планетарном вращении подложки
Autor: Оруджов Э. Э.
Vydáno: (2023)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Autor: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Vydáno: (Москва, Техносфера, 2010)

The application of an assisting gas plasma generator for low-temperature magnetron sputtering of Ti-C-Mo-S antifriction coatings on titanium alloys
Vydáno: (2015)

Thin hydroxyapatite coating on AZ91D magnesium alloy fabricated via RF-magnetron sputtering
Autor: Melnikov E. S. Evgenii Sergeevich
Vydáno: (2015)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Vydáno: (2016)