Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3

Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 3.— 2002.— с. 123-126
Autore principale:	Перекрестов В. И.
Altri autori:	Кравченко С. Н.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2002
Serie:	Лабораторная техника
Soggetti:	остаточные газы вакуумные камеры химически чистые плёнки магнетронное распыление
Natura:	Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427067

Documenti analoghi

Анализ состава остаточных газов в вакуумной камере импульсного ускорителя; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Флусова Д. С.
Pubblicazione: (2021)

Исследование свойств дуги в вакуумной дугогасительной камере при малых расстояниях между контактами; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 317, № 4: Энергетика
di: Лавринович В. А. Валерий Александрович
Pubblicazione: (2010)

Временное разрешение вакуумной камеры деления; Приборы и техника эксперимента; № 6
di: Чукляев С. В.
Pubblicazione: (2003)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2010)

Влияние давления в вакуумной камере на интенсивность излучения ускорителей: [отдельный оттиск]
di: Власов А. Г.
Pubblicazione: (Москва, Изд-во Академии наук СССР, 1961)

Теория процессов получения чистых металлов, сплавов и интерметаллидов: учебное пособие
di: Емельянов В. С. Василий Семенович
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1983)

Исследование явлений вблизи нуля тока вакуумной дуги; Современные техника и технологии; Т. 1
di: Хоанг Туан Ань
Pubblicazione: (2010)

Моделирование показаний датчиков электромагнитной индукции и магнитного потока в вакуумной камере токамака КТМ; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
di: Зольнов Д. А.
Pubblicazione: (2019)

Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов: учебное пособие
di: Беляев А. И. Анатолий Иванович
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИСиП, 1965)

Исследование прямого электрического нагрева при упаривании растворов химически чистых сульфатов меди и никеля: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.08
di: Пьянков А. Г. Анатолий Григорьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 1980)

Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов: учебное пособие
di: Беляев А. И. Анатолий Иванович
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1973)

Система управления установки для плазменного нанесения покрытий "Опал 2"; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 2
di: Юдаков С. В. Сергей Владимирович
Pubblicazione: (2002)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Шпакова Н. Ю.
Pubblicazione: (2009)

Программное обеспечение для системы управления процессом прогрева вакуумной камеры термоядерной установки токамак КТМ; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Лю М. И.
Pubblicazione: (2007)

Моделирование тепломассопереноса древесины при нагреве в камере с пониженным давлением; Современные техника и технологии; Т. 3
di: Горешнев М. А. Максим Алексеевич
Pubblicazione: (2010)

Справочник по вакуумной технике и технологиям: пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2011)

Вакуумные выключатели. Состояние и перспективы развития
di: Попов Н. А. Николай Александрович
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1965)

Очистка металлов и полупроводников кристаллизацией
di: Вигдорович В. Н. Виленин Наумович
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1969)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Андреева М. А.
Pubblicazione: (2016)

Наноматериалы. IV. Тонкие пленки как наноструктурированные системы: [монография]
di: Белянин А. Ф. Алексей Федорович
Pubblicazione: (Москва, Техномаш, 2008)

Алгоритмическое обеспечение подсистемы управления прогревом вакуумной камеры токамака КТМ; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 318, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
di: Коровиков А. Г.
Pubblicazione: (2011)

Т. 2 : Физико-химические и кристаллизационные методы глубокой очистки; Химия и технология высокочистых металлов и металлоидов
Pubblicazione: (2003)

Справочник по физическим основам вакуумной техники
di: Кучеренко Е. Т. Евгений Трофимович
Pubblicazione: (Киев, Вища школа, 1981)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
di: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Pubblicazione: (2014)

Электрический потенциал тонкого биоактивного покрытия на основе цинк-замещенного гидроксиапатита, полученного на титане методом ВЧ магнетронного распыления; Современные технологии и материалы новых поколений
di: Просолов К. А. Константин Александрович
Pubblicazione: (2017)

Синтез математической модели подсистемы управления прогревом вакуумной камеры Казахстанского материаловедческого Токамака КТМ; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 320, № 5 : Управление, вычислительная техника и информатика
di: Коровиков А. Г.
Pubblicazione: (2012)

Индукционный нагрев при производстве особо чистых материалов
di: Бындин В. М. Валерий Михайлович
Pubblicazione: (Ленинград, Машиностроение, 1980)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
di: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Pubblicazione: (2009)

Высокочастотное магнетронное распыление как способ получения тонких, сверхупругих, беспористых биопокрытий для медицины; Современные техника и технологии; Т. 1
di: Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Pubblicazione: (2007)

Учебная лаборатория вакуумной техники. Теория и практикум: учебное пособие
di: Глазков А. А. Анатолий Александрович
Pubblicazione: (Москва, Атомиздат, 1971)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Шаронова А. А. Анна Александровна
Pubblicazione: (2013)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Pubblicazione: (2013)

Основы расчета вакуумной сублимационной аппаратуры
di: Шумский К. П. Кирион Павлович
Pubblicazione: (Москва, Машиностроение, 1967)

Изучение процессов вакуумной отгонки сульфида цинка из промпродукта, получаемого при обогащении медно-цинковых сульфидных руд: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Абрамова Е. К.
Pubblicazione: (Ленинград, [Б. и.], 1966)

Изучение релаксации остаточных напряжений с помощью моделей; Технология машиностроения и проблемы прочности
di: Скворцов В. Ф.
Pubblicazione: (1978)

Ячейка высокого давления для высокотемпературного эксперимента в камере типа "тороид"; Приборы и техника эксперимента; № 2
Pubblicazione: (2004)

Оценка остаточных знаний студентов; Прогрессивные технологии и экономика в машиностроении
di: Губайдулина Р. Х. Рауза Хамидовна
Pubblicazione: (2002)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Pubblicazione: (2016)

Экспериментальное определение зависимости ускоренного тока от давления в камере синхротрона " Сириус": [отдельный оттиск]
di: Чучалин И. П. Иван Петрович
Pubblicazione: (Томск, Изд-во Томского ун-та, 1969)

Метод оперативного измерения параметров рабочего газа в импульсной ионизационной камере; Приборы и техника эксперимента; № 6
Pubblicazione: (2003)