Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента/ Российская академия наук.— , 1956-.— 0032-8162 № 3.— 2002.— с. 123-126 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2002
|
| Series: | Лабораторная техника |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=427067 |