|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
427067 |
| 005 |
20231101074621.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\86181
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\9512
|
| 090 |
|
|
|a 427067
|
| 100 |
|
|
|a 20100903a2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti
|f В. И. Перекрестов, С. Н. Кравченко
|
| 225 |
1 |
|
|a Лабораторная техника
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 5 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\300
|x 0032-8162
|t Приборы и техника эксперимента
|f Российская академия наук
|d 1956-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\86160
|t № 3
|v с. 123-126
|d 2002
|
| 610 |
1 |
|
|a остаточные газы
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные камеры
|
| 610 |
1 |
|
|a химически чистые плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 675 |
|
|
|a 539.231:538.975
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 543.42.062
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Перекрестов
|b В. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Кравченко
|b С. Н.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20021226
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100903
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
