Получение субмикронных слоев однородных твердых диэлектриков
| Parent link: | Приборы и техника эксперимента/ Академия наук СССР.— , 1956-.— 0032-8162 № 1.— 1967.— с. 198-200 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
1967
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=426901 |