Процессы микро- и нанотехнологий, метод. пособие к курсу лекций
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| الملخص: | Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов Книга из коллекции БГПУ имени М. Акмуллы - Нанотехнологии |
| منشور في: |
Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2012
|
| الوصول للمادة أونلاين: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg |
| التنسيق: | الكتروني كتاب |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 42268 | ||
| 100 | |a 20200604d2012 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Процессы микро- и нанотехнологий |b Электронный ресурс |f Гадиев Р. М. |e метод. пособие к курсу лекций | |
| 210 | |a Уфа |b Уфа |c БГПУ имени М. Акмуллы |d 2012 | ||
| 215 | |a 50 с. | ||
| 330 | |a Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов | ||
| 333 | |a Книга из коллекции БГПУ имени М. Акмуллы - Нанотехнологии | ||
| 700 | 1 | |a Гадиев |b Р. М. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg | ||