Процессы микро- и нанотехнологий, метод. пособие к курсу лекций

Bibliographic Details
Main Author:	Гадиев Р. М.
Summary:	Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов Книга из коллекции БГПУ имени М. Акмуллы - Нанотехнологии
Published:	Уфа, БГПУ имени М. Акмуллы, 2012
Online Access:	http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=42268 https://e.lanbook.com/img/cover/book/42268.jpg
Format:	Electronic Book

Internet