Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 11

Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 11

Dettagli Bibliografici
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411
Т. 46, № 11.— 2003.— с. 66-72
Altri autori: Давыдов В. Н., Беляев С. В., Попов В. В., Рыбченков А. А., Мосейчук А. Г.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2003
Serie:Физика полупрводников и диэлектриков
Soggetti:
кремний
приповерхностные слои
методы релаксации
металлографические методы
МОП-структуры
структурные дефекты
генерация
Natura: Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419969

Documenti analoghi