Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния

Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411
Т. 46, № 11.— 2003.— с. 66-72
Other Authors: Давыдов В. Н., Беляев С. В., Попов В. В., Рыбченков А. А., Мосейчук А. Г.
Published: 2003
Series:Физика полупрводников и диэлектриков
Subjects:
кремний
приповерхностные слои
методы релаксации
металлографические методы
МОП-структуры
структурные дефекты
генерация
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419969

Similar Items