|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
419969 |
| 005 |
20231101073324.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\77431
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\23268
|
| 090 |
|
|
|a 419969
|
| 100 |
|
|
|a 20100301a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния
|f В. Н. Давыдов, С. В. Беляев, В. В. Попов и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика полупрводников и диэлектриков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 17 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77421
|t Т. 46, № 11
|v с. 66-72
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a приповерхностные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a методы релаксации
|
| 610 |
1 |
|
|a металлографические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a МОП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a генерация
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Давыдов
|b В. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Беляев
|b С. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Попов
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Рыбченков
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Мосейчук
|b А. Г.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040226
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101029
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
