Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 10

Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 10

Detaylı Bibliyografya
Parent link:Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411
Т. 46, № 10.— 2003.— с. 63-66
Yazar: Кулинич О. А.
Diğer Yazarlar: Глауберман М. А., Садова Н. Н.
Dil:Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi: 2003
Seri Bilgileri:Физика полупровдников и диэлектриков
Konular:
кремний
приповерхностные слои
исследование
структуры
оксид кремния-кремний
примесный состав
радиационно-индуцированные заряды
Materyal Türü: Kitap Bölümü
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419951

Benzer Materyaller