Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 46, № 10.— 2003.— с. 63-66 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2003
|
| Series: | Физика полупровдников и диэлектриков |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419951 |