|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
419951 |
| 005 |
20231101073323.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\77413
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\21647
|
| 090 |
|
|
|a 419951
|
| 100 |
|
|
|a 20100301a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]
|f О. А. Кулинич, М. А. Глауберман, Н. Н. Садова
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика полупровдников и диэлектриков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 13 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77401
|t Т. 46, № 10
|v с. 63-66
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a приповерхностные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a исследование
|
| 610 |
1 |
|
|a структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид кремния-кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a примесный состав
|
| 610 |
1 |
|
|a радиационно-индуцированные заряды
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.33:622.382.23
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Кулинич
|b О. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Глауберман
|b М. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Садова
|b Н. Н.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040123
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101028
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
