Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах [SIO2 -Si]

מידע ביבליוגרפי
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 46, № 10.— 2003.— с. 63-66
מחבר ראשי:	Кулинич О. А.
מחברים אחרים:	Глауберман М. А., Садова Н. Н.
יצא לאור:	2003
סדרה:	Физика полупровдников и диэлектриков
נושאים:	кремний приповерхностные слои исследование структуры оксид кремния-кремний примесный состав радиационно-индуцированные заряды
פורמט:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419951

תיאור
תיאור לא זמין.

פריטים דומים