Влияние примеси никеля на скорость поверхностной генерации на границе раздела Si-SiO[2]
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 46, № 2.— 2003.— с. 50-53 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2003
|
| Series: | Физика полупроводников и диэлектриков |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419802 |