|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
419799 |
| 005 |
20231101073317.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\77257
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\prd\14223
|
| 090 |
|
|
|a 419799
|
| 100 |
|
|
|a 20100226a2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Роль углерода в процессе электрической формовки МДМ-систем
|f П. Е. Троян, А. А. Жигальский, Ю. В. Сахаров
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика полупроводников и диэлектриков
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 3 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\191
|x 0021-3411
|t Известия вузов. Физика
|f Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет
|d 1958-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\77251
|t Т. 46, № 2
|v с. 36-38
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a углерод
|
| 610 |
1 |
|
|a электрическая формовка
|
| 610 |
1 |
|
|a МДМ-системы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a химические взаимодействия
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид кремния
|
| 675 |
|
|
|a 621.383.085.3
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Троян
|b П. Е.
|
| 701 |
|
1 |
|a Жигальский
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Сахаров
|b Ю. В.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20030523
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101028
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
