Роль углерода в процессе электрической формовки МДМ-систем

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика/ Министерство общего и профессионального образования Российской Федерации ; Томский Госуниверситет.— , 1958-.— 0021-3411 Т. 46, № 2.— 2003.— с. 36-38
Main Author:	Троян П. Е.
Other Authors:	Жигальский А. А., Сахаров Ю. В.
Published:	2003
Series:	Физика полупроводников и диэлектриков
Subjects:	углерод электрическая формовка МДМ-системы тонкопленочные системы диэлектрики химические взаимодействия оксид кремния
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=419799

Similar Items