Моделирование и экспериментальные исследования долговременных изменений параметров кремниевых структур при ионизирующем воздействии: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; 01.04.10

Bibliographic Details
Main Author: Зыков В. М. Владимир Михайлович
Corporate Author: Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт интроскопии (НИИ ИН)
Other Authors: Лисицын К. И. Константин Иванович (научный руководитель)
Language:Russian
Published: Томск, 2002
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=41770