Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Хаханина Т. И. Татьяна Ивановна
Συλλογικό Έργο: Томский политехнический университет, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
Άλλοι συγγραφείς: Каракеян В. И. Валерий Иванович (научный консультант)
Περίληψη:For_staff_use
Γλώσσα:Ρωσικά
Έκδοση: Москва, [Б. и.], 2002
Θέματα:
Μορφή: Βιβλίο
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=41097

Παρόμοια τεκμήρια