Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13

Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13

Bibliographic Details
Main Author: Хаханина Т. И. Татьяна Ивановна
Corporate Authors: Томский политехнический университет, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
Other Authors: Каракеян В. И. Валерий Иванович (научный консультант)
Summary:For_staff_use
Language:Russian
Published: Москва, [Б. и.], 2002
Subjects:
полупроводники
поверхности
очистка
безотходные технологии
высокочистые вещества
контроль
авторефераты диссертаций
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=41097

Similar Items