Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13

Bibliografische gegevens
Hoofdauteur: Хаханина Т. И. Татьяна Ивановна
Coauteurs: Томский политехнический университет, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
Andere auteurs: Каракеян В. И. Валерий Иванович (научный консультант)
Samenvatting:For_staff_use
Taal:Russisch
Gepubliceerd in: Москва, [Б. и.], 2002
Onderwerpen:
Formaat: Boek
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=41097