Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Хаханина Т. И. Татьяна Ивановна
Kurumsal yazarlar:	Томский политехнический университет, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
Diğer Yazarlar:	Каракеян В. И. Валерий Иванович (научный консультант)
Özet:	For_staff_use
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Москва, [Б. и.], 2002
Konular:	полупроводники поверхности очистка безотходные технологии высокочистые вещества контроль авторефераты диссертаций
Materyal Türü:	Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=41097

Benzer Materyaller