|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
41097 |
| 005 |
20231031013734.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\42166
|
| 090 |
|
|
|a 41097
|
| 100 |
|
|
|a 20020605d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:
|e Спец. 05.11.13
|f Т. И. Хаханина
|g Московский государственный институт электронной техники; Томский политехнический университет; Научн. конс.: В. И. Каракеян
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c [Б. и.]
|d 2002
|
| 215 |
|
|
|a 56 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 47-56 (71 назв.)
|
| 371 |
0 |
|
|a For_staff_use
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a безотходные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочистые вещества
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592.002(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.11.13
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Хаханина
|b Т. И.
|g Татьяна Ивановна
|
| 702 |
|
1 |
|a Каракеян
|b В. И.
|g Валерий Иванович
|4 695
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\2285
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20020605
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071106
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
