Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
প্রধান লেখক:	Хаханина Т. И. Татьяна Ивановна
সংস্থা লেখক:	Томский политехнический университет, Московский государственный институт электронной техники (Технический университет) (МИЭТ)
অন্যান্য লেখক:	Каракеян В. И. Валерий Иванович (научный консультант)
সংক্ষিপ্ত:	For_staff_use
ভাষা:	রুশ
প্রকাশিত:	Москва, [Б. и.], 2002
বিষয়গুলি:	полупроводники поверхности очистка безотходные технологии высокочистые вещества контроль авторефераты диссертаций
বিন্যাস:	গ্রন্থ
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=41097

বিবরন
দৈহিক বর্ননা:	56 с. ил.
সংক্ষিপ্ত:	For_staff_use

অনুরূপ উপাদানগুলি