Хаханина Т. И. Татьяна Ивановна & Каракеян В. И. Валерий Иванович. (2002). Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13. Москва, [Б. и.], 2002.
Chicago Style (17th ed.) CitationХаханина Т. И. Татьяна Ивановна and Каракеян В. И. Валерий Иванович. Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13. Москва, [Б. и.], 2002, 2002.
MLA (9th ed.) CitationХаханина Т. И. Татьяна Ивановна and Каракеян В. И. Валерий Иванович. Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук:; Спец. 05.11.13. Москва, [Б. и.], 2002, 2002.