|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
395647 |
| 005 |
20231101064647.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\prd\33224
|
| 090 |
|
|
|a 395647
|
| 100 |
|
|
|a 20050228a2004 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
|f Е. А. Аснис, П. И. Баранский, В. М. Бабич и др.
|
| 225 |
1 |
|
|a Новые материалы и технологии формирования их свойств
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 15 назв.
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1139
|t Наукоемкие технологии
|o научно-технический журнал
|d 2001-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\27450
|t № 6
|v С. 4-7
|d 2004
|
| 610 |
1 |
|
|a фосфор
|
| 610 |
1 |
|
|a легирующие примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a кислород
|
| 610 |
1 |
|
|a фоновые примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы кремния
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-лучевая бестигельная зонная перекристаллизация
|
| 610 |
1 |
|
|a глубокий вакуум
|
| 610 |
1 |
|
|a десорбция
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Аснис
|b Е. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Баранский
|b П. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Бабич
|b В. М.
|
| 701 |
|
1 |
|a Гайдар
|b А. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Заболотин
|b С. П.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050228
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
