Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

Bibliographic Details
Parent link:	Наукоемкие технологии: научно-технический журнал.— , 2001- № 6.— 2004.— С. 4-7
Other Authors:	Аснис Е. А., Баранский П. И., Бабич В. М., Гайдар А. В., Заболотин С. П.
Language:	Russian
Published:	2004
Series:	Новые материалы и технологии формирования их свойств
Subjects:	фосфор легирующие примеси кислород фоновые примеси монокристаллы кремния электронно-лучевая бестигельная зонная перекристаллизация глубокий вакуум десорбция
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=395647

Similar Items