Десорбция примесей из монокристаллов кремния при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Наукоемкие технологии: научно-технический журнал.— , 2001- № 6.— 2004.— С. 4-7
Altri autori:	Аснис Е. А., Баранский П. И., Бабич В. М., Гайдар А. В., Заболотин С. П.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2004
Serie:	Новые материалы и технологии формирования их свойств
Soggetti:	фосфор легирующие примеси кислород фоновые примеси монокристаллы кремния электронно-лучевая бестигельная зонная перекристаллизация глубокий вакуум десорбция
Natura:	Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=395647

Descrizione
Descrizione non disponibile.

Documenti analoghi