Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков

Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков

Bibliographic Details
Parent link:	Измерительная техника=Measurement Techniques: научно-технический журнал/ Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России).— , 1940-1941, 1955-.— 0368-1025 № 8.— 2004.— С. 66-71
Main Author:	Толстенок О. А.
Other Authors:	Холомина Т. А.
Published:	2004
Series:	Радиотехнические измерения
Subjects:	датчики давления микроэлектромеханические системы тензорезистивный преобразователь кремниевая мембрана
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=393532

Similar Items

Устройство, работа и метрологическое обслуживание датчиков систем автоматизации учебно-методическое пособие
by: Рыжова А. А.
Published: (Казань, КНИТУ, 2018)

Статические методы калибровки бесплатформенных микроэлектромеханических датчиков ускорения в инерциальных навигационных системах
by: Шаврин В. В.
Published: (2012)

Измерительные преобразователи и электроды учебно-методическое пособие
by: Бердников А. В.
Published: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2018)

Микроэлектромеханические датчики давления в космических аппаратах
by: Ле Чунг Зунг
Published: (2014)

Ёмкостные преобразователи микроэлектромеханических систем
by: Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Published: (2009)

Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (2009)

Анализ энергоэффективности диэлектрических материалов ёмкостных микроэлектромеханических систем
by: Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Published: (2008)

Electromechanics and MEMS textbook
by: Jones T. B. Thomas
Published: (Cambridge, Cambridge University Press, 2013)

Исследование микроэлектромеханического датчика перемещения
by: Жидков А. П.
Published: (2011)

Силовая электроника электромобилей. Управление инверторной генерацией энергии учебное пособие для вузов
by: Смирнов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Преимушества выбора датчиков давления Метран 100
Published: (2003)

Mikroelektromechanisches systems (MEMS)
by: Vtorushin S. E.
Published: (2012)

Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем
by: Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна
Published: (2013)

Микродатчики и микросистемы. Краткий курс лекций учебное пособие
by: Гридчин А. В.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Микроэлектромеханический датчик для косвенного измерения колебаний в шаговом электроприводе
by: Трусов Е. В.
Published: (2012)

Элементы систем автоматики конспект лекций
by: Сажин Р. А.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2007)

Процессы и оборудование микротехнологии учебное пособие
by: Цветков Ю. Б.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018)

Лабораторный стенд поверка пружинных датчиков давления
by: Бабичев А. В.
Published: (2014)

Вопросы разработки инерциальных пешеходных навигационных систем на основе МЭМС-датчиков
Published: (2015)

Унифицированный ряд высокочастотных датчиков давления для систем автоматического регулирования и контроля
by: Мокров Е. А.
Published: (2004)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.01
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (Томск, 2010)

Вакуумные системы источников синхротронного излучения учебное пособие
by: Беркин А. Б.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2022)

Биотехнические системы медицинского назначения учебное пособие
by: Иванова Н. И.
Published: (Тверь, ТвГТУ, 2020)

Исследование метрологических свойств датчиков давления в экстремальных условиях
by: Звегинцев В. И.
Published: (2003)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.01
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (Томск, 2010)

Временная стабильность интегральных датчиков как вважнейшее условие их применения в авиационных микропроцессорных системах
by: Соколов Л. В.
Published: (2002)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.09.01
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (Томск, 2010)

Проектирование пьезоэлектрических датчиков на основе пространственных электротермоупругих моделей
by: Богуш М. В. Михаил Валерьевич
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов монография
by: Лугин А. Н. Александр Николаевич
Published: (Пенза, Изд-во ПГУ, 2008)

Проектирование интеллектуальных датчиков с помощью Microchip dsPIC пер. с англ.
by: Хадлстон К. Крид
Published: (Санкт-Петербург, Корона-Век, 2015)

Новая серия клапанных блоков и вентильных систем - идеальное решение для интегрирования датчиков давления в техпроцесс
by: Ружицкая Е. В.
Published: (2006)

Разработка следящих систем испытательного стенда для отработки сложных механических систем навигационного оборудования Разработка датчиков следящих систем Промежуточный отчет о НИР Тема : № 8-22/80
Published: (Томск, 1981)

Mетодика оценки качества измерительных приборов (на примере датчиков давления)
by: Свинолупов Ю. Г. Юрий Григорьевич
Published: (2012)

Изготовление полимерных фильтров тонкой очистки жидкостей и газов методом ультразвуковой сварки
by: Нестеренко Н. П.
Published: (2002)

Компоненты автомобильной электроники учебное пособие
by: Коваленко О. Л.
Published: (Архангельск, САФУ, 2016)

Нелинейная динамика микроэлектромеханических систем резонаторов в виде прямоугольных в плане сферических оболочек с учетом геометрической и физической нелинейности
Published: (2017)

Лауреаты Нобелевской премии 2003 года по химии
by: Белянова Л. П.
Published: (2004)

Влияние вязкости и электропроводности прядильных растворов на структуру мембран из политетрафторэтилена изготовленных методом электроспиннинга
by: Мельник Е. Ю. Евгений Юрьевич
Published: (2023)

Определение мощности на привод маслоизготовителя с гибким виброприводом
by: Яшин А. В.
Published: (Самара, СамГАУ, 2018)

Сверхбыстродействующие сигнальные процессоры для цифровой обработки оптических сигналов учебное пособие
by: Дюбов А. С.
Published: (Санкт-Петербург, СПбГУТ им. М.А. Бонч-Бруевича, 2022)