Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков; Измерительная техника; № 8

Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков; Измерительная техника; № 8

Bibliographic Details
Parent link:	Измерительная техника=Measurement Techniques: научно-технический журнал/ Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России).— , 1940-1941, 1955-.— 0368-1025 № 8.— 2004.— С. 66-71
Main Author:	Толстенок О. А.
Other Authors:	Холомина Т. А.
Language:	Russian
Published:	2004
Series:	Радиотехнические измерения
Subjects:	датчики давления микроэлектромеханические системы тензорезистивный преобразователь кремниевая мембрана
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=393532

Similar Items

Устройство, работа и метрологическое обслуживание датчиков систем автоматизации учебно-методическое пособие
by: Рыжова А. А.
Published: (Казань, КНИТУ, 2018)

Статические методы калибровки бесплатформенных микроэлектромеханических датчиков ускорения в инерциальных навигационных системах; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Шаврин В. В.
Published: (2012)

Микроэлектромеханические датчики давления в космических аппаратах; Космическое приборостроение
by: Ле Чунг Зунг
Published: (2014)

Измерительные преобразователи и электроды учебно-методическое пособие
by: Бердников А. В.
Published: (Казань, КНИТУ-КАИ, 2018)

Ёмкостные преобразователи микроэлектромеханических систем; Электромеханические преобразователи энергии
by: Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Published: (2009)

Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем; Электромеханические преобразователи энергии
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (2009)

Electromechanics and MEMS: textbook
by: Jones T. B. Thomas
Published: (Cambridge, Cambridge University Press, 2013)

Исследование микроэлектромеханического датчика перемещения; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Жидков А. П.
Published: (2011)

Анализ энергоэффективности диэлектрических материалов ёмкостных микроэлектромеханических систем; Электроэнергия: от получения и распределения до эффективного использования
by: Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Published: (2008)

Унифицированный ряд высокочастотных датчиков давления для систем автоматического регулирования и контроля; Измерительная техника; № 5
by: Мокров Е. А.
Published: (2004)

Mikroelektromechanisches systems (MEMS); Перспективы развития фундаментальных наук
by: Vtorushin S. E.
Published: (2012)

Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7
by: Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна
Published: (2013)

Временная стабильность интегральных датчиков как вважнейшее условие их применения в авиационных микропроцессорных системах; Измерительная техника; № 10
by: Соколов Л. В.
Published: (2002)

Микроэлектромеханический датчик для косвенного измерения колебаний в шаговом электроприводе; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Трусов Е. В.
Published: (2012)

Преимушества выбора датчиков давления Метран 100; Промышленные АСУ и контроллеры; № 11
Published: (2003)

Силовая электроника электромобилей. Управление инверторной генерацией энергии учебное пособие для вузов
by: Смирнов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Микродатчики и микросистемы. Краткий курс лекций учебное пособие
by: Гридчин А. В.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Процессы и оборудование микротехнологии учебное пособие
by: Цветков Ю. Б.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2018)

Элементы систем автоматики конспект лекций
by: Сажин Р. А.
Published: (Пермь, ПНИПУ, 2007)

Лабораторный стенд поверка пружинных датчиков давления; Энергетика, электромеханика и энергоэффективные технологии глазами молодежи
by: Бабичев А. В.
Published: (2014)

Разработка следящих систем испытательного стенда для отработки сложных механических систем навигационного оборудования; Разработка датчиков следящих систем: Промежуточный отчет о НИР; Тема : № 8-22/80
Published: (Томск, 1981)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (Томск, 2010)

Исследование метрологических свойств датчиков давления в экстремальных условиях; Приборы и техника эксперимента; № 2
by: Звегинцев В. И.
Published: (2003)

Биотехнические системы медицинского назначения учебное пособие
by: Иванова Н. И.
Published: (Тверь, ТвГТУ, 2020)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (Томск, 2010)

Вопросы разработки инерциальных пешеходных навигационных систем на основе МЭМС-датчиков; Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана; № 6
Published: (2015)

Проектирование пьезоэлектрических датчиков на основе пространственных электротермоупругих моделей
by: Богуш М. В. Михаил Валерьевич
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Вакуумные системы источников синхротронного излучения учебное пособие
by: Беркин А. Б.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2022)

Проектирование интеллектуальных датчиков с помощью Microchip dsPIC: пер. с англ.
by: Хадлстон К. Крид
Published: (Санкт-Петербург, Корона-Век, 2015)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01
by: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Published: (Томск, 2010)

Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопленочных прецизионных резисторов: монография
by: Лугин А. Н. Александр Николаевич
Published: (Пенза, Изд-во ПГУ, 2008)

Mетодика оценки качества измерительных приборов (на примере датчиков давления); Дефектоскопия; № 2
by: Свинолупов Ю. Г. Юрий Григорьевич
Published: (2012)

Новая серия клапанных блоков и вентильных систем - идеальное решение для интегрирования датчиков давления в техпроцесс; Промышленные АСУ и контроллеры; № 5
by: Ружицкая Е. В.
Published: (2006)

Нелинейная оптика кремния и кремниевых наноструктур
by: Акципетров О. А.
Published: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2012)

Нелинейная динамика микроэлектромеханических систем резонаторов в виде прямоугольных в плане сферических оболочек с учетом геометрической и физической нелинейности; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 328, № 11
Published: (2017)

Сверхбыстродействующие сигнальные процессоры для цифровой обработки оптических сигналов учебное пособие
by: Дюбов А. С.
Published: (Санкт-Петербург, СПбГУТ им. М.А. Бонч-Бруевича, 2022)

Система возбуждения и обработки измерительной информации микроэлектромеханического инерциального модуля с функциями гироскопа и акселерометра: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.01
by: Ло Ван Хао
Published: (Томск, 2020)

Компоненты автомобильной электроники учебное пособие
by: Коваленко О. Л.
Published: (Архангельск, САФУ, 2016)

Наноробототехника: аспекты технологии; Стандарты и качество; № 5
by: Ананян М. Михаил
Published: (2003)

Система возбуждения и обработки измерительной информации микроэлектромеханического инерциального модуля с функциями гироскопа и акселерометра: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.11.01
by: Ло Ван Хао
Published: (Томск, 2020)