Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков
| Parent link: | Измерительная техника=Measurement Techniques: научно-технический журнал/ Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России).— , 1940-1941, 1955-.— 0368-1025 № 8.— 2004.— С. 66-71 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2004
|
| Series: | Радиотехнические измерения |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=393532 |