Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков

Bibliografski detalji
Parent link:	Измерительная техника=Measurement Techniques: научно-технический журнал/ Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России).— , 1940-1941, 1955-.— 0368-1025 № 8.— 2004.— С. 66-71
Glavni autor:	Толстенок О. А.
Daljnji autori:	Холомина Т. А.
Jezik:	ruski
Izdano:	2004
Serija:	Радиотехнические измерения
Teme:	датчики давления микроэлектромеханические системы тензорезистивный преобразователь кремниевая мембрана
Format:	Poglavlje knjige
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=393532

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	393532
005	20231101064410.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\29590
090			\|a 393532
100			\|a 20041105a2004 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков \|f О. А. Толстенок, Т. А. Холомина
225	1		\|a Радиотехнические измерения
320			\|a Библиогр.: 6 назв.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1509 \|x 0368-1025 \|t Измерительная техника \|l Measurement Techniques \|o научно-технический журнал \|f Российская Федерация, Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Ростехрегулирование) (Госстандарт России) \|d 1940-1941, 1955-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\28349 \|t № 8 \|v С. 66-71 \|d 2004
610	1		\|a датчики давления
610	1		\|a микроэлектромеханические системы
610	1		\|a тензорезистивный преобразователь
610	1		\|a кремниевая мембрана
675			\|a 546.28 \|v 3
700		1	\|a Толстенок \|b О. А.
701		1	\|a Холомина \|b Т. А.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20041105 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20121218 \|g RCR
942			\|c BK