Оптическая диагностика высококачественной и СВЧ-плазмы; Наукоемкие технологии; № 2

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Наукоемкие технологии: научно-технический журнал.— , 2001- № 2.— 2003.— С. 58-66
1. Verfasser:	Марин В. П.
Weitere Verfasser:	Вагин Л. Н.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2003
Schriftenreihe:	Технологии контроля качества и надежности катодных материалов
Schlagworte:	оптическая диагностика СВЧ-плазма определение параметров заряженные частицы концентрация аргон ионизация эксперимент измерение
Format:	Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=385399

MARC


LEADER	00000naa2a2200000 4500
001	385399
005	20231101063349.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\prd\13272
090			\|a 385399
100			\|a 20030430a2003 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
200	1		\|a Оптическая диагностика высококачественной и СВЧ-плазмы \|f В. П. Марин, Л. Н. Вагин
225	1		\|a Технологии контроля качества и надежности катодных материалов
320			\|a Библиогр.: 12 назв.
461		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\1139 \|t Наукоемкие технологии \|o научно-технический журнал \|d 2001-
463		1	\|0 (RuTPU)RU\TPU\prd\13055 \|t № 2 \|v С. 58-66 \|d 2003
610	1		\|a оптическая диагностика
610	1		\|a СВЧ-плазма
610	1		\|a определение параметров
610	1		\|a заряженные частицы
610	1		\|a концентрация
610	1		\|a аргон
610	1		\|a ионизация
610	1		\|a эксперимент
610	1		\|a измерение
675			\|a 537.533.3.331 \|v 3
675			\|a 537.533.56 \|v 3
700		1	\|a Марин \|b В. П.
701		1	\|a Вагин \|b Л. Н.
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20030430 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150429 \|g PSBO
942			\|c BK