Оптическая диагностика высококачественной и СВЧ-плазмы
| Parent link: | Наукоемкие технологии: научно-технический журнал.— , 2001- № 2.— 2003.— С. 58-66 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Published: |
2003
|
| Series: | Технологии контроля качества и надежности катодных материалов |
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=385399 |